l  生产厂家：沈阳超高真空应用研究所（多功能蒸镀仪）

Vigor公司（手套箱）

l  仪器介绍：该系统共有三个腔室，即主镀膜室、预处理室、过渡室，一个联并的手套箱系统。主镀膜室含有十四个工位（10个有机蒸发束源炉，4个无机蒸发舟），能够同时沉积不同的有机材料，可以对基底进行在线温控及检测，并有5个多方位的石英膜厚探测器，能够准确对器件膜厚进行原位检测；预处理室负责基底表面清洗（等离子轰击）；过渡室负责器件在主真空室和手套箱系统的桥梁作用；一个能够精确控制位置的传递杆在高真空条件下可对器件在三腔室和手套箱之间进行传递，确保器件的稳定性。

l  主要功能：有机半导体薄膜生长、有机光电器件制备、金属电极沉积，手套箱内有旋涂仪、热台等，惰性环境下器件的溶液加工制备、热处理、封装等。